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氣體軟氮化
所謂氣體軟氨化，就是在Fe—N系的共析溫度以下（530～570℃）進行碳氮共滲的過程。與一般氣體氮化相比，軟氨化具有工藝周期短，滲層脆性小，不易剝落，不需選用特殊氮化鋼等優點，且軟氨化是在480～580℃范圍內進行，可以代替高合金鋼模具的最終回火處理。
軟氨化后，模具表面具有較高的硬度、耐磨性、耐蝕性和抗咬合性能，高合金鋼模具經軟氨化后疲勞強度提高30%。軟氨化有液體法和氣體法。液體軟氮化鹽浴有毒，因此國內大多采用氣體軟氮化方法。常用的氣體軟氨化方法見表。
常用的氣體軟氮化方法
| 方法 | 介質 | 工藝說明 | 優缺點 |
| 吸熱式氣體+氮 | 吸熱式氣體50%氮50% | 軟氮化570℃，軟氮化時間0.5～5小時，吸熱式氣體露點為℃ | 易實現自動化，但劥復雜、投資大，對專業廠及成批生產廠較合適 |
| 酒精+氮 | 酒精氨 | 酒精先在裂解爐（450℃以下）裂解，再通往氮化爐中或直接將酒精滴入爐內裂解 | 可利用原來井式滲碳爐，操作方便 |
| 尿素熱分解 | 100%尿素 | 軟氮化溫度530～570℃軟氮化時間2～6小時，尿素制成顆粒逐漸加入爐內 | 需加一套尿素送料裝置 |
| 滴注式氣體軟氮化 | 甲酰胺，三乙醇胺，乙二胺 | 把有機溶劑直接滴入爐內。三乙醇胺精度較大，需加酒精稀釋之 | 操作方便，很適合一般熱處理車間，使用時防止滴劑與管壁粘結而引起的結焦 |
| 含氧氣氛氣體軟氮化 | 30～50%甲酰胺水溶液或20～40%尿素水溶液 | 將介質水溶液經霧化噴入爐內，直接熱分解 | 加氧后，可改善滲層的耐麿、抗咬合、抗擦傷性能 |
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