用手脈發生器移動相關軸，（將手脈倍率定為1×100的擋位，即每變化一步，電機進給0.1mm），配合百分表觀察相關軸的運動情況。在單向運動精度保持正常后作為起始點的正向運動，手脈每變化一步，機床該軸運動的實際距離d=d1=d2=d3…=0.1mm，說明電機運行良好，定位精度良好。而返回機床實際運動位移的變化上，可以分為四個階段：①機床運動距離d1＞d=0.1mm(斜率大于1);②表現出為d=0.1mm＞d2＞d3(斜率小于1)；③機床機構實際未移動，表現出最標準的反向間隙；④機床運動距離與手脈給定值相等(斜率等于1)，恢復到機床的正常運動。

滾珠絲杠副故障大部分是由于運動質量下降、反向間隙過大、機械爬行、潤滑不良等原因造成的。下表為滾珠絲杠副常見故障以及診斷方法。

滾珠絲桿副故障診斷