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金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法

本發明是一種金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法。目前金剛石薄膜窗口透光波段的研究及應用局限在２．５—２５μｍ范圍，使用中受到限制。本發明用電子束輔助熱燈絲化學氣相沉積方法；兩步法高密度成核金剛石優化生長工藝；多光束干涉法薄膜厚度監控，克服了光在近紅外波段的散射問題，研制成功具有光學鏡面級表面的金剛石薄膜，制得的窗口用于近紅外（１．１—１．８μ）探測器，靈敏可靠，抗高溫，抗腐蝕，抗水，抗塵，堅硬耐磨，維護方便。

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