氣相沉積碳化鈦覆層

氣相沉積碳化鈦覆層是用氫氣作運(yùn)載氣體將碳?xì)浠衔锛淄榛蚣妆秸魵饧八穆然亷?00～1200℃加熱爐內(nèi)，發(fā)生如下反應(yīng)：

TiCl4+CH4+H2→TiC+4HCl+H2

TiCl4和H2還與模具鋼中的碳作用：

TiCl4+H2+C（鋼中）→TiC+4HCl

生成的TiC沉積在模具表面，碳化鈦沉積厚度為4～20微米，其工藝見表8-49。模具表成硬度HV2400～3800，具有高耐磨性、低摩擦系數(shù)、強(qiáng)抗蝕性。治積碳化鈦覆層適用于處理高合金工具鋼，如Cr12MoV及硬質(zhì)合金材料、來作冷擠模，模具涂覆TiC后，可明顯延長使用壽命幾倍甚至幾十倍。

表1一些模具鋼TiC沉積工藝效果